Сканирующий электронный микроскоп HITACHI Regulus SU8200 позволяет проводить исследование крупных образцов при высоком разрешении (до 1 нм), чему способствует наличие мощной электронной пушки с холодным полевым катодом и конструкция semi-in-lens (объективная открытая линза). Широкий экран (24,1 дюйма) с оптимальным разрешением (1920 х 1200) и большой диапазон угла вращения столика для образцов облегчают работу исследователя, упрощая управление прибором. Улучшенное детектирование сигнала позволяет отображать верхний слой поверхности образца.